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Novel Crystal Technology始次量产高品质β型氧化镓100mm外延片

2022-01-16 19:36分类:医美口罩 阅读:

日本Novel Crystal Technology成功地将氧化镓外延片制造技术扩大到 100 毫米,使在 100 毫米量产线上制造氧化镓功率器件成为可以。6Fpednc

以肖特基势垒二极管(SBD)和晶体管为代外的半导体功率器件(以下简称功率器件)被集成到世界各地的相似电气设备中。今朝,功率半导体资料主流资料是硅,但围绕斲丧更小的电力节制,碳化硅(SiC)和氧化镓等资料的开发不停推进。此次成功实现晶圆量产化的氧化镓有看在干系竞争中攻克上风。6Fpednc

氧化镓晶圆的价格比碳化硅晶圆矮,而且没相干更加高效地节制电力。6Fpednc

氧化镓的带隙能量为4.5eV,比今朝正在开发的功率器件资料碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)大,是一栽斲丧较矮的功率器件,是没相干实现的梦想新资料。此外,氧化镓没相干经过熔体孳乳法结晶,高质量、大尺寸的单晶衬底的孳乳速度比SiC和GaN快100倍,因而没相干预期降矮成本...... 6Fpednc

基于这些特点,国内外企业和钻研机构正在加速研发,朝着氧化镓功率器件的早期商业化偏向发展。6Fpednc

Novel Crystal Technology在 2019 年成功开发了高质量的 2 英寸(50.8 毫米)氧化镓外延片,并从 2019 岁始开起制造和出售。.. 但是,原因器件的制造成本不值得2英寸的成本,因而异国功率器件的量产线,并且该晶片的使用仅限于研发。6Fpednc

这一次,Novel Crystal Technology开发了100mm外延沉积设备,答用2英寸epi高品质技术,使生产和出售高品质氧化镓100mm外延片成为可以。这使得在 100 毫米生产线上制造氧化镓功率器件成为可以。6Fpednc

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 图:SBD处理的100毫米氧化镓外延片的外皮照片。(图片来源:Novel Crystal Technology)6Fpednc

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